?？乒怆娋€光譜共焦傳感器輪廓數(shù)據(jù)數(shù)量達到4096個，且X軸輪廓數(shù)據(jù)間隔小至2.5μm，可生成高密度的真實三維點云數(shù)據(jù)。對于金線檢測，這意味著能精確測量每根金線的弧高、間距等關鍵尺寸。任何細微的塌陷、斷裂或形態(tài)異常，都會在三維輪廓中清晰顯現(xiàn)，從而實現(xiàn)對微米級缺陷的精準捕捉與量化分析。

大視野掃描：效率躍升

線光譜共焦技術可實現(xiàn)一條線上的所有點同步進行高精度測距，具備“線掃描”的高速特性，配合位移平臺就能實現(xiàn)快速三維檢測，有效提升檢測效率。

?？乒怆娙峦瞥龅母叻直媛示€光譜共焦傳感器SG4050型號，在保持全量程掃描速度4.4kHz的同時（最高掃描速度18kHz），X軸測量范圍提升至20.4mm，Z軸測量范圍達到5mm，大幅減少單位范圍內(nèi)掃描次數(shù)，驅(qū)動金線檢測效率升級。

同軸線共焦：強材質(zhì)適應性

?？乒怆娋€光譜共焦傳感器采用同軸光學設計，測量光和反射光沿相同的路徑傳播，避免出現(xiàn)遮擋盲區(qū)，可實現(xiàn)復雜材質(zhì)表面的的零陰影掃描，對金線形態(tài)檢測有更好的適應性，同時不受金線反光的影響，實現(xiàn)卓越的掃描結果，重建高精度3D圖像。

雙型號選擇：適配細分需求

為滿足不同產(chǎn)線對效率與精度的差異化需求，?？乒怆娋牟季諷G系列產(chǎn)品線：全新推出的SG4050型號與成熟的SG4025型號，可覆蓋側(cè)重點不同的金線檢測場景。

SG4025

提供4096個輪廓數(shù)據(jù)數(shù)量，X軸輪廓數(shù)據(jù)間隔達2.5μm，Z軸重復精度（鏡面）0.25μm，適用于對精細特征檢測要求更苛刻的場景。

SG4050

在維持高分辨率與高掃描速度的同時，X軸測量范圍（20.4mm）與Z軸測量范圍（5mm）進一步拓展，顯著提升檢測效率，適用于追求大規(guī)模、高效率在線全檢的產(chǎn)線。

應用效果

結語

隨著半導體工藝邁向后摩爾時代，視覺檢測是把控半導體產(chǎn)品質(zhì)量的關鍵環(huán)節(jié)。埃科光電聚焦晶圓制備到封裝測試各工藝段，致力于為半導體行業(yè)全制程提供更高效、更精準的視覺檢測解決方案。

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