日本日機（NIKKI）三自由度納米平臺
2013/1/22 14:44:33
日機伺服是日本第一家生產(chǎn)感應伺服的廠商，在伺服生產(chǎn)和使用方面具有豐富的專業(yè)經(jīng)驗。其中日機公司生產(chǎn)的三自由度納米平臺在國際市場得到廣泛的好評。
參數(shù)表格：
平臺規(guī)格 | 單位 | |||
平臺外形尺寸 | Wmm X Lmm X Hmm | 788mm X 843mm X 210mm | ||
Z軸規(guī)格 | 分解能：4,300,800pp | 額定扭矩：9Nm | ||
平臺重量 | kg | 161 | ||
單位 | X軸 | Y軸 | ||
有效行程 | mm | 300 | 300 | |
光柵尺分節(jié)能 | μm | 0.1 | 0.1 | |
使用直線電機類型 | —— | 無鐵芯高推力型 | 無鐵芯扁平型 | |
額定推力 | N | 200 | 90 | |
精度 | 單位 | X軸 | Y軸 | |
直線度A（垂直） | μm | 3.2 | 1.4 | |
直線度A（水平） | μm | 1 | 1.3 | |
重復定位精度 | μm | +/-0.1 | +/-0.1 | |
直角度（對XY軸的Y軸的角度） | μm | 1.8 | ||
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